Нанесение и сушка фоторезиста

Нанесение фоторезистивных плёнок на гладкую и рельефную поверхность пластин, с последующей термообработкой.

Автоматическая трековая установка нанесения фоторезиста, предназначенная для фотолитографического обеспечения производства СБИС и дискретных п/п приборов на полупроводниковых пластинах диаметром до 100 мм / 150 мм.

Нанесение фоторезистивных плёнок на гладкую и рельефную поверхность пластин и подложек.