Оборудование для изготовления фотошаблонов

Оборудование для нанесения фоторезиста на шаблонные заготовки

Оборудование для сушки фоторезиста на шаблонах

Оборудование для обработки шаблонных заготовок (проявление фоторезиста, травление маскирующего слоя, удаление фоторезиста и промывка)

Оборудование для индивидуальной отмывки фотошаблонов