Химическое осаждение металлических покрытий

Установка предназначена для приема отработанных концентрированных растворов травления, нейтрализации, осаждения в виде осадка (твердая фаза) и получения раствора пригодного для разбавления и слива в общую канализацию предприятия в соответствии с ПДК на сточные воды.

Линии химической обработки пластин/подложек предназначены для химической обработки пластин/подложек в растворах плавиковой, серной, соляной, азотной, фосфорной, уксусной кислот, перекиси водорода, аммиака и их смесей, с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой (или без сушки).

Комплекс предназначен для селективного автокаталитического осаждения металлических слоев никеля/золота на контактные площадки кристаллов, расположенных на полупроводниковой пластине.